二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9232795 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一種高精度蝕刻/灰化系統，旨在滿足先進晶圓處理環境的需求。它具有長壽命的三極管-等離子體電子源，允許系統執行受控蝕刻、退火和其他處理功能。過程控制非常精確,可實現非常精細的陣列和出色的可重復性。源可以在一系列概率範圍內進行調整,以獲得所需的結果。機器構造堅固、簡單。它主要由帶控制門的真空室、等離子體源及其相關電源和控制系統組成。等離子體源具有可調節的快門機構，可確保在整個晶片上一致且均勻的蝕刻/灰化過程。空氣和氮氣被施加到每個晶片上，沒有任何熱輻射，也沒有損壞它。可以調整蝕刻/灰化過程以適應任何給定的應用程序,並且在晶片之間輕松轉換設置。它通過整個晶片保持非常精確和可重復的處理速率，即使有復雜的模式。與其他系統相比,ADIXEN AMS 200的運行溫度較低,因此可以運行更長的時間。此外，ALCATEL AMS 200還具有許多安全機制。它有一個傳感器套件，監測氮氣調節和源，真空壓力，和內部溫度。如果這些子系統中的任何一個超過安全操作參數,都會向用戶發送通知。萬一出現任何問題,機器還具有緊急關閉選項。PFEIFFER AMS 200是一種通用系統,能夠滿足一系列晶圓處理要求,同時確保安全性和精確度。它是需要高精度蝕刻/灰化和精細規模陣列功能的環境的理想解決方案。