二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9269458 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一種先進的集成蝕刻/asher技術，專為材料處理應用如反應性離子蝕刻（RIE）而設計。它是一個靈活的設備，為用戶提供在一個平臺上選擇三種蝕刻技術。這種靈活性和高端性能使ADIXEN AMS 200成為諸如等離子體輔助蝕刻（PAE）、化學機械拋光（CMP）和光刻等先進工藝的理想選擇。系統的關鍵特性之一是其集成設計，允許用戶同時訪問腔室、發電機和電源。該設備能耗低,維護最少。它有一個計算機控制的操作機器，允許自動處理。該工具還支持一系列材料，如金屬、氧化物、氮化物和塑料。ALCATEL AMS 200可以處理標準模塊和生產模塊中的多種材料,並具有用於統一蝕刻和加工的高級伺服驅動資產。該模型在單個平臺中提供高分辨率掃描和沈積功能，而其集成控制設備則允許用戶快速設置過程參數以實現自動化和可重復性。與傳統的蝕刻工藝相比，該系統還優化了較短的工藝時間。該裝置通過內置的氣體和液體歧管提供出色的工藝控制。這允許用戶為多種工藝如化學氣相沈積（CVD）、離子銑削、激光燒蝕、電化學蝕刻等精確設置氣體壓力、流量和蝕刻參數。PFEIFFER AMS 200還結合了具有優化阻抗匹配、脈沖頻率調制（PFM）、脈寬調制（PWM）和脈沖摻雜放大器的先進射頻發生器。這為蝕刻過程提供了更大的控制和更高的精度。該機包括從內置冷卻工具以提高熱穩定性到高質量氣體入口資產的一系列綜合功能。這有助於確保用戶安全維護蝕刻和圖片質量。總體而言,AMS 200在專為各種材料處理應用而設計的集成靈活模型中提供了強大的蝕刻功能。該設備結合了低功耗和易於使用的控制,是精密蝕刻和圖像處理的理想解決方案。