二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9270002 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款工業級的蝕刻器/asher，設計用於在大批量應用中提供可靠的性能。它被配置為滿足各種蝕刻和灰化要求,包括批處理和連續處理。高頻微波發生器為系統供電，為腔室內的多個加熱區提供精確的溫度控制。這有助於確保整個要處理的晶圓或基材的蝕刻或灰化過程均勻。ADIXEN AMS 200旨在實現時間和能源的最佳利用。它提供兩種蝕刻和灰化模式-自動和手動.自動模式允許用戶指定進程所需的參數，並根據上一個進程周期的結果自動調整進程條件。在手動模式下,用戶可以手動控制過程條件和間隔,從而更輕松地調整過程條件。ALCATEL AMS 200包括一個實時顯示屏，可以隨時看到流程結果，幫助最大限度地降低過度處理或未充分處理的風險。AMS 200為長期可靠性和改進的安全功能提供了強大的設計。腔室由內部凸起的陶瓷平臺和外部不銹鋼外殼組成，提供密封和優異的熱性能。它設計用於處理各種工藝化學品和抵抗腐蝕。該系統的設計也考慮到安全性，具有內置的安全傳感器和安全聯鎖，以確保安全的操作環境。PFEIFFER AMS 200可配置多個可選配件以適合特定應用。其中包括射頻屏蔽襯裏、啟用反應性氣體處理的氣泡以及防止顆粒物堆積的沖洗系統。總體而言,ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一種工業級的蝕刻器/asher,其設計目的是在高容量過程中提供可靠、一致的性能。利用室內多加熱區的精確溫度控制，提供了自動和手動兩種優化資源利用的模式。ADIXEN AMS 200還具有堅固的結構和增強的安全功能,以確保操作安全。