二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9315005 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一種先進的等離子體灰化器/蝕刻器，用於工業蝕刻工藝。ADIXEN AMS 200專為滿足苛刻的生產需求而設計，提供精確可靠的蝕刻，可重復性高。它提供業界領先的蝕刻速率,並提供對蝕刻速率、溫度和蝕刻時間的準確控制。ALCATEL AMS 200具有智能用戶界面，便於設置和操作。它有助於快速優化流程,以及在手動和自動模式下快速調整參數。機載過程監控和診斷可確保準確的結果和過程穩定性。PFEIFFER AMS 200還具有獨特的蝕刻控制功能,可精確控制蝕刻輪廓的形狀。AMS 200配備了高級控制系統，旨在管理多個流程配方。它還包括各種分析和數據管理選項，如蝕刻特性和統一性分析。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200可用於幹式和濕式蝕刻工藝。ADIXEN AMS 200在氣體控制方面提供各種選項,包括可變/恒定流量調節器以及數字氣體閥控制器。此外，該裝置還有一個板載氣體混合和輸送系統，可用於精確和可重復的氣體混合物。ALCATEL AMS 200甚至還有一個可選的真空端口用於蝕刻後氣體疏散。PFEIFFER AMS 200有多級裝載技術的開口，例如蝕刻後化學維護。這使得跨多個基板和腔室配置實現工藝優化變得更加容易。總體而言,AMS 200是一種先進的蝕刻系統,提供精確、可靠和可重復的蝕刻。它提供業界領先的蝕刻速率,以及全面的板載氣體控制和對蝕刻速率、溫度和蝕刻時間的精確控制。該單元適合各種蝕刻工藝，包括幹式和濕式蝕刻，並提供各種功能，以方便快速優化和均勻的結果。