二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9315053 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200是一款針對平板顯示器、半導體晶片和太陽能電池等特定應用而設計的蝕刻器/asher。該設備設計用於對小至350 nm的區域進行精密蝕刻/灰化。它具有全封閉、自動化的過程室，能夠精確控制過程參數，並具有可定制的用戶界面，以實現高效操作。ADIXEN AMS 200配備了先進的氣體控制設備，能夠對所有相關的過程氣體進行精確的流量控制和監測。該系統具有各種蝕刻/灰化參數,包括氣體類型、壓力、溫度和流量。還有多種工藝選項,例如打開/關閉、蝕刻/灰化和深度蝕刻/灰化。該單元還可以針對各種樣本量和應用進行定制,並提供出色的蝕刻/灰化結果均勻性。ALCATEL AMS 200還配備了自動晶圓對齊機。這樣可確保在開始蝕刻/灰化之前,樣品在工藝室中正確對齊。使用一組可調節的對準夾具實現對準，這些夾具為每個晶片提供精確的擬合。PFEIFFER AMS 200還具有先進的真空工具。該資產能夠達到0.1 Torr以下的壓力，並配備了真空泵、真空計、真空模型控制器等各種真空組件。這樣可以確保精確控制所有工藝參數,並確保樣品完全暴露於蝕刻/灰化工藝中。為了確保結果是可重復的並且沒有汙染物，AMS 200配備了強大的排氣設備。該系統采用排氣噴嘴，除去所有加工副產品和未使用的蝕刻/灰化氣體，確保清潔和安全的加工環境。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200裝在堅固耐用的不銹鋼外殼中,可提供良好的防塵和其他汙染物保護。此外，該單元設計方便維修。用戶可以快速輕松地進入加工室，並更換任何磨損的零件，而無需拆卸整個機器。總之，ADIXEN AMS 200是一種先進的蝕刻器/asher，可為各種樣本量和應用提供精確的工藝控制。它具有堅固的包絡，易於維護和修理，並借助強大的真空工具和廢氣資產提供了出色的均勻性。