二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9225142 待售
看起來這件物品已經賣了。檢查下面的類似產品或與我們聯系,我們經驗豐富的團隊將為您找到它。
單擊可縮放
已售出
ID: 9225142
晶圓大小: 6"
優質的: 2007
Deep etcher, 6"
Process: BOSCH
(2) Chamber etch systems
With BROOKS Handler
Up to (4) chambers
Load / Unload stations
Scrubber
(3) Computer consoles
(2) LN2 Tanks
Process module: SE Silicon etch
Gases: CF4, O2, CHF3, He, Ar, N2
Process module: (2) RGV Dielectric etchers
Gases: SF6, O2 (20 SCCM), O2 (1000 SCCM)
High generated plasma density: >10^11 ions/cm³
Very high silicon etch rates: >30 μm/min
Steep and vertical side walls as well as high selectivity
MEMS and semiconductor device fabrication:
Silicon (SI)
Silicon on insulator (SOI)
Silicon dioxide (SiO2)
Wide range of substrate types
Wafer sizes of 4", 5", 6" or 8" diameter with quick wafer size
Cluster tool modules:
Up to (4) process modules
Control module per process module
Transfer module
Energy Dispatching Module (EDM)
Graphic User Interface module (GUI)
(2) End point detection (EPD) systems
(2) Chillers
Oxide chamber has an ESC chuck
Silicon chamber has a liquid N2 cooling and mechanical clamping
2007 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200是一種等離子體蝕刻器/asher設備，設計用於復雜的半導體器件制造應用。它非常適合於精細和高度精確的蝕刻和灰化操作,從而能夠生產高性能的半導體元件,並提供極其精細的細節。ADIXEN AMS 4200由矢量化媒體傳輸系統驅動,可提供控制級別的準確性和統一性。這確保了在整個蝕刻/灰化過程中的高精度,因為重叠的間距和運行大小是一致的。由於其可調節的盒式磁帶,它還能夠處理多個晶圓尺寸和基板。機器使用多個單源電源提供必要的蝕刻速率和均勻性級別。所有電源都安裝在頂部,可供操作員使用和維護。該裝置在使用受控、清潔的等離子體時也能抵抗汙染和工藝條件的變化。憑借其用戶友好的設計和專用的功能鍵，操作員可以以最少的經驗快速可靠地生產。ALCATEL AMS 4200具有多種安全功能,可確保最高級別的流程安全性和可靠性。其中包括檢測晶圓溫度變化的石英傳感器，以及保護晶圓免受突然移動的安全蓋。使用診斷系統實時監控蝕刻/灰化過程,以防止其停滯或受到環境條件突然變化的影響。該機器包括集成軟件，能夠精確模擬蝕刻/灰化工藝參數。此軟件允許操作員快速、輕松地、精確地更改參數,以利用該工具出色的可重復性。最後,由於其模塊化的結構和方便用戶的設計,整個資產的安裝和維護非常方便。該模型高效的機架安裝設計簡化了安裝和重新定位。隨附的工具套件和制造商批準的部件維護速度快,方便。總之，PFEIFFER AMS 4200是一種先進、精確的蝕刻器/灰燼設備，非常適合創建精確、復雜的晶圓蝕刻和灰燼。該系統功能簡單，效果可靠，適用於復雜的半導體器件制造應用。
還沒有評論