二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9280675 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200是一種用於微電子器件制造的蝕刻/asher設備。它旨在對各種半導體和/或微電子器件材料的蝕刻和灰化過程進行精確控制。該系統通過高級診斷和最新的蝕刻/灰分產品提供增強的過程控制。ADIXEN AMS 4200是一個完全自動化的模塊化蝕刻器/asher單元,由兩個基本組件組成：輸入顯示顯示器和蝕刻/灰燼室。顯示器由8.4英寸彩色觸摸屏顯示器組成,可訪問一系列可調節的參數,以確保精確的處理能力。直觀的圖形用戶界面可輕松瀏覽各種蝕刻/灰燼選項。8.4英寸觸摸屏顯示屏具有4步引導控制、手動操作、基本信息綜合菜單和實時動態操作監控功能。蝕刻器/灰化器腔室由兩個可單獨安裝的腔室組成，即蝕刻腔室和灰化室，通過氣體管線連接。蝕刻室由交流反饋電路組成，該電路控制步進電機，以控制不同數量的加工氣體和蝕刻時間，從而產生所需的蝕刻/灰分剖面。灰化室由陶瓷材料加熱器組件、壓力傳感器和三個石英熱電偶組成。ALCATEL AMS 4200還具有低溫兼容性，以實現溫度敏感材料的蝕刻/灰化工藝。機器可以單片或多片模式操作。AMS 4200還提供用戶安全功能,例如在溫度過高、壓力條件和/或氣流異常的情況下緊急停止開關。PFEIFFER AMS 4200的溫度範圍為0-1000 °C，工藝壓力範圍為0.2-7.5 torr。該工具設有用於樣品調節的壓力室氣體連接和手動通風管連接。建築材料為不銹鋼、鋁、Pyrex。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200提供了一系列功能，包括過程控制精度、自動晶片裝卸以及多種過程類型的兼容性。適用於半導體器件制造中的多種材料蝕刻，包括Si、SiGe、SiO2。