二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9285833 待售
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ID: 9285833
優質的: 2008
Plasma DRIE etcher
Dual load locks
Robot transfer module
Controller rack
RF Generator rack
Front and rear monitor
BROOKS AUTOMATION Platform
Magnatron 7 Robot
ACT 600M TMP Turbo pump
Interface computer
Transfer computer process chamber: AMS X200
ACT 1300M TMP Turbo pump
(2) SEMCO HV52000C SEREN L301 RF Power supplies
ADVANCED ENERGY Dressler cesar RF
ENI Spectrum B-3013 RF Generator
Process gases:
Gas / Range
SF6 / 1000 SCCM
C4F8 / 400 SCCM
O2 / 100 SCCM
O2 / 800 SCCM
Ar / 200 SCCM
N2 / 1000 SCCM
Ar / -
CHF3 EDM / -
CE Marked
Power supply: 200/208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz
2008 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200是專為要求苛刻鋁蝕刻和灰化要求而設計的專用等離子蝕刻器/灰化器。ADIXEN AMS 4200具有觸摸屏HMI控制器,具有廣泛的蝕刻和灰化功能。它采用700瓦等離子體源設計,允許在蝕刻/灰化過程中提高可重復性和產量。它有一個獨特的雙壁不銹鋼設計，創造和維持一個真空室，確保正確處理時蝕刻/灰化鋁組件。它還帶有多種安全功能，如定時器控制的氣體閥、氣體溢流閥和雙速真空調節器，以提高安全性。ALCATEL AMS 4200還有許多可定制的設置，如可調節的直流和射頻頻率、寬度調制和電流輪廓，使操作員能夠量身定制蝕刻過程，並確保所需的結果。內置的射頻發電機提供了範圍廣泛的功率水平，從50 W到700 W，這使得蝕刻過程可以針對每一個特定的應用進行微調。此外，集成腔室壓力控制和內置壓力表允許在蝕刻或灰化鋁部件時進行精確的腔室壓力控制。PFEIFFER AMS 4200具有一系列功能,可提高效率和可重復性,同時將維護成本降至最低。具有配方存儲和報警記錄功能的可自定義軟件包使操作員能夠輕松配置和存儲處理配方以及故障排除操作。此外,自動氣體調節器和可選的可編程提升系統可確保可重復工作效率。還提供了一個有效和可靠的雙源供應系統，減少了設置時間，提高了流程的可重復性。最後,AMS 4200可以與各種模塊（如原位真空泄漏檢測模塊）結合使用,從而進一步降低安裝成本,提高流程的可重復性。總體而言，ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200是一款可靠高效的蝕刻器/asher。它的功能提高了過程的可重復性,並最大程度地降低了維護成本,而其可自定義的設置允許精確控制蝕刻/灰化過程,從而確保獲得最佳效果。
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