二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9304661 待售
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已售出
ID: 9304661
晶圓大小: 6"
優質的: 2007
Etcher, 6"
(2) Dry etch chambers
With (1) E-chuck
BROOKS AUTOMATION Handler
(4) Chambers
Load / Unload station
(4) Pumps
Control units
(2) Chillers
PWD Cabinet / Scrubber
(3) Computer consoles
(2) LN2 Tanks
Process chamber 1:
Silicon oxide (RGV Dielectric) etch process module
RIE Source reactor
Substrate holder with E-Chuck, 6"
Bias 600 W LF
Reactor pump: ADP 122H and ATH 1600M on DN40 Throttle valve
Gas lines: CF4, O2, CHF3, He
Process chamber 2:
Silicon etch process module
ICP Plasma source
Cryo temperature process
Cryogenic substrate holder
With mechanical clamping chuck, 6"
Source: 3 kW RF
Auto matching network
Laser view port adapter
Pumping line to pump down the substrate holder
He backside cooling
Bias 300 W RF
LN2 Controlled cooling
Dewar LN2 tank
PM ADP 122 Reactor pump
ATH 1600M Maglev turbo pump
DN200 Heated throttle
Cold trap
Gas lines: SF6, O2, O2, N2
Handling platform:
BROOKS AUTOMATION MX 600 Platform with MAG 7 robot
6-Sided platform:
(2) Process modules
(2) Cassette modules
(2) BROOKS AUTOMATION VCE6 Cassette modules
Electrical cabinet
RF Generator
PLC
Breaker
Control module
End point detection
Accessories
Etch module with gas cabinet: CF4, O2, CHF3, He, Ar, N2
Etch module with gas cabinet: SF6,O2, O2,N2
BROOKS MX 600 Handler platform
(2) Control cabinets
Power distribution cabinet
(2) ADP122H Fore pumps
(2) A100L Fore pumps
(2) Chillers
Transformer, 125 KVA
GUI, (3) Consoles
Gas abatement, centrotherm
Manuals
Cables
Hoses
Computer
Endpoint detectors
2007 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 蝕刻器/asher是一種精密的等離子體蝕刻和灰化設備,用於各種薄膜材料。它用於生產具有嚴格精度的高質量幾何形狀、方向圖案和結構。該系統非常適合濺射、蝕刻和清洗過程。該設備具有高度緊湊的外形和各種創新功能,旨在滿足當今蝕刻和清潔需求。其先進的蝕刻技術允許精確、可重復的等離子體蝕刻和灰化過程,能夠實現非常精細的輪廓幾何形狀。該機具有非常短的處理時間,同時由於其自動化的刀具控制也提供了卓越的工藝可靠性。該資產專為薄膜材料的濺射、蝕刻和清洗所需的準確性和可重復性而設計。它具有從各向同性蝕刻到選擇性蝕刻的各種清潔選項。其先進的離子束沈積和脈沖處理系統允許產生非常精細和一致的蝕刻/灰分模式。它的開放式腔室設計提供了過程的無限制視圖,同時提供了一個恒定的環境,確保在整個蝕刻/灰化過程中具有高度的均勻性。該模型還擁有各種各樣的靈活性和定制選項。它有一個可調的流動噴嘴,這使得被輸送到基板上的粒子效率最大化。該設備還具有全自動過程控制器,可確保蝕刻/灰燼過程中的高重復性和一致性。該工藝控制器允許用戶定制特定材料的等離子體蝕刻和灰化配方,確保盡可能高的蝕刻和灰化效率。ADIXEN AMS 4200 蝕刻器/asher是一種先進且可靠的蝕刻和灰化系統,能夠為用戶提供廣泛的好處。它在蝕刻和灰化過程中提供了更高的準確性和可重復性,同時還提供了極短的過程時間。它的開放式腔室設計和過程控制器允許更大的靈活性和定制,確保用戶獲得他們的蝕刻和灰化過程的最佳結果。
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