二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 601E #9232798 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 601E是一種用於精密蝕刻和灰化工藝的最先進的蝕刻器/灰化器。這臺多功能機器是高通量、高品質微加工的理想選擇。該601E的腔室很大，能夠蝕刻尺寸高達8英寸的晶圓，以及包括矽、玻璃和聚合物基板在內的各種基板。該601E采用先進的蝕刻和灰化技術，包括3 D等離子體源、集成氣體處理和低壓差速泵。與傳統的平板設計相比，601E中的3 D等離子體源能夠產生更密集、更均勻的等離子體。這項技術可提高工藝的可重復性,並產生更高的蝕刻速率。另一方面，綜合氣體處理系統提供了對過程氣體的精確控制，使等離子體環境更加均勻，並增強了過程的可重復性。601E還配備了腔室冷卻系統，在漫長的過程中降低了工藝腔室的溫度。這樣可以確保基板保持在理想溫度下，以優化蝕刻性能和端點檢測的精確控制。此外，低壓差分泵送系統有助於在長時間的沖洗過程中保持形成的等離子體包絡。ADIXEN AMS 601E的設計具有最高的蝕刻和灰度精度。該601E技術先進，設計可靠，性能可靠，是任何蝕刻或灰化應用的理想選擇。