二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMZ 200SE #140744 待售

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ID: 140744
晶圓大小: 6"
優質的: 2003
Deep reactive ion etcher, 6", 2003 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMZ 200SE是為實驗室和工業用途而設計的蝕刻器和灰化器。它是一種自成體系的儀器,適用於蝕刻、沈積和微加工等多種應用。ADIXEN AMZ 200SE采用不銹鋼腔室構造,與數字真空控制系統高效通風集成。腔室還配有可升降蓋和凹窗,可以全面觀察過程。該室還具有多孔陶瓷絕緣,允許有效的熱控制,並輔之以室內強制空氣循環,旨在最大程度地提高溫度均勻性。蝕刻器/灰化器裝有氣體面板,內含多種氣體,如甲烷、SF6和氦氣。根據應用,用戶可以輕松改變氣體流量、壓力和成分。此外,集成脈沖電源控制氣體的功率水平,允許用戶根據具體要求輕松調整工藝參數。ALCATEL AMZ 200SE具有用戶友好、易於使用的操作軟件,旨在提高生產率,同時提供最大程度的過程控制。該軟件被編程為監測和控制一系列工藝參數,如工藝時間、壓力和氣體流速。它還可以監測壓力,對任何計劃外事件做出反應,使其成為可靠穩定的系統。AMZ 200SE是為實驗室和工業環境中的最大安全而設計的。主要安全功能包括內置應急閥門和特殊機械密封,確保所有危險氣體安全地裝在腔室內,並從使用者手中排出。PFEIFFER AMZ 200SE是一種可靠、高效的蝕刻器,非常適合各種應用。適用於精準精準的操作,具有多種易於調整和監控的工藝參數。這些參數包括氣體供應、壓力、脈沖電源和工藝時間。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMZ 200SE具有可靠和高效的特性,適合實驗室和工業環境。
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