二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR 300 #9386027 待售
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR 300是為矽片等材料的手動蝕刻而設計的高精度蝕刻器/asher。它旨在使用戶能夠處理各種基板，包括具有電氣、照片、溫度和環境特性的基板。ADIXEN GIR 300提供了多種功能和選項,允許用戶根據自己的確切需求定制流程。ALCATEL GIR 300是一種垂直蝕刻器/asher,具有旋轉的壓板組件,使晶片在處理過程中能夠移動。這使得基板可以在不同的方向進行蝕刻，允許用戶在保持精度的同時最大化蝕刻速率。壓板由氣動缸固定在適當的位置,確保精確的運動.GIR 300配備了幾個獨特的控制組件，使用戶能夠生成精密蝕刻所需的高速蝕刻速率。這包括伺服驅動、四軸定位系統、線性驅動器和高精度壓電驅動器。這些元件可用於調整蝕刻速率、蝕刻深度和最終層厚度。該蝕刻器還配備了集成氣體探測器和壓力計，可以提醒用戶註意任何潛在的氣體泄漏，並顯示加工室內部的壓力。此外,自動化的過程結束控制系統會監視蝕刻過程,提醒用戶及早發現任何問題,並防止晶圓受到潛在損壞。安全是PFEIFFER GIR 300的優先事項，並配備了多種監控壓力、真空和加工室內溫度的安全特性。集成的聯鎖系統可防止門在處理過程中打開,如果超過任何安全限制,安全閥將關閉氣體供應。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR 300是一款用途廣泛的蝕刻器/asher，設計用於矽片和其他材料的精密蝕刻。其強大、高精度的驅動器組件和集成的安全功能確保了過程的安全和準確。
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