二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9286872 待售
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR是一種高負載、工藝兼容的蝕刻器/asher,用於各類工藝中的蝕刻/ashing和其他真空處理程序。此蝕刻器具有高負載容量和高蝕刻/灰化率,因此可以正常工作。ADIXEN GIR可用於加工薄膜材料,如半導體材料和高k電介質。也可用於薄膜材料的切割/剝離。機器有一個溫控蝕刻/灰室的設備,可以根據工藝要求設置和使用。ALCATEL GIR在真空室中有一個由集成電動機和旋轉葉片泵驅動的可變角度渦輪泵。這允許在低溫和高溫應用中進行精確和精確的蝕刻/灰化。GIR利用精確的計算機控制步進電機來精確控制蝕刻/灰化率,並確保一個可重復的過程。該系統還包括真空振蕩器,進一步提高了蝕刻/灰化精度。蝕刻/灰化過程由前端可編程用戶界面控制。這提供了一個功能齊全的圖形用戶界面來控制設備參數。此用戶界面具有直觀的布局,使設置和控制蝕刻/灰化過程變得簡單而直觀。PFEIFFER GIR還包括一個用於過程優化和控制的串聯監控機器。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR是用先進的耐熱和耐化學材料建造的,以抵禦高溫和各種腐蝕性化學品。蝕刻/灰化室由不銹鋼制成,設計用於堅固的性能。這樣可以確保過程質量完美無瑕且可重復。總體而言,ADIXEN GIR是一種高負載真空工藝兼容的蝕刻器/asher。它設計用於處理各種蝕刻/灰化過程和材料,並具有精確、計算機控制的步進電機,用於精確和精確的蝕刻/灰化。ALCATEL GIR由堅固的材料構成,以確保工藝質量完美無瑕。GIR還具有用戶友好、直觀的圖形用戶界面和在線監控工具,以確保流程優化和控制。
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