二手 AMAT / APPLIED MATERIAL P5000 #293656948 待售

AMAT Applied Materials AMAT/APPLIED MATERIAL P5000 Asher/Etcher是一種通用工具,適用於眾多行業的各種高精度工藝應用。該設備提供卓越的精度和穩定性,同時提供高效的吞吐量,使用戶能夠獲得一致的高質量結果。AMAT P5000具有三個工藝室-一個用於預清潔,一個用於蝕刻,一個用於後清潔。每個工藝模塊都配有獨立的壓力和溫度控制，以及原位和異地監控功能，允許用戶優化工藝。腔室通過內置冷卻器和精確的熱PID回路來控制溫度。此外，還建立了先進的壓力控制系統，以改進穩態均勻性和精確的工藝優化。應用材料P5000具有多種沈積技術，如電子回旋共振蝕刻、高密度等離子體蝕刻、反應性離子蝕刻、低溫深等離子體蝕刻和先進工藝配方的多步蝕刻。此外，該單元支持廣泛的蝕刻氣體，使其成為高級邏輯和內存設備、互連、MEMS設備等應用的絕佳選擇。P5000具有一些先進的功能,使其在其他蝕刻/asher系統中脫穎而出。該工具的高級集成自動化功能減少了用戶對設置和工藝配方的參與,使其成為滿足更大生產需求的理想選擇。集成互鎖驗證機實時監控所有關鍵刀具參數，並為用戶提供詳細反饋，確保可靠和可重復的結果。AMAT/APPLIED MATERIAL P5000還提供高級過程監視功能,以確保準確的過程優化。這包括原地和異地光學觀測，以及一個內置的光譜儀，用於驗證配方期間的關鍵工藝參數。此外，該工具還包含實時電氣監控資產，可防止任何類型的過度蝕刻或不足蝕刻。總體而言,APPLIED MATERIAL/Pllied Materials AMAT P5000 Asher/Etcher是要求卓越性能和準確性的工藝應用的理想選擇。其先進的特性，如集成的自動化和過程監測能力使其成為生產過程的理想之選，其廣泛的沈積和蝕刻技術使其用途極為廣泛。該模型還易於操作和維護，進一步提高了其在生產環境中的有效性。