二手 AMAT / APPLIED MATERIAL Precision 5000 Mark II MXP #293618048 待售

'AMAT Applied Materials AMAT/APPLIED MATERIAL Precision 5000 Mark II MXP是一款高度先進的蝕刻器/asher,專為半導體和內存行業的關鍵工藝應用而設計。此設備能夠以可靠和一致的方式提供高端性能。該系統的蝕刻/灰化能力適用於多種材料，如多晶矽、poly-SiGe、polycide和聚酰亞胺。AMAT Precision 5000 Mark II MXP單元配備了專利淋浴頭工藝室，提供優化的均勻性和吞吐量。蝕刻/灰化工藝采用了帶真空-超高密度的ICPRB（密集型等離子體反應器底部進料）工藝室。該UHDP腔室旨在提供高度穩定的蝕刻/灰化工藝。通過高分辨率模式識別和雙自由度控制系統，可以準確地確定機器對蝕刻/灰化過程的精確控制。該工具還支持多種氣體，以增加工藝優化的靈活性。該資產還配備了高級控制器和軟件,可以對流程參數和硬件設置進行有效的微調控制。用戶友好的軟件界面簡化了模型的操作和監控。APPLIED MATERIAL Precision 5000 Mark II MXP設備還配備了汙染控制和安全功能,可減少缺陷並確保安全的工作環境。這些包括閉路通風、泄漏檢測和自動清洗系統。此外,該單元還提供在線流程變量的實時監控、趨勢確定和數據收集。Precision 5000 Mark II MXP機器是一款可靠、高性能的蝕刻器/asher，適用於半導體和內存行業的多種工藝應用。此工具能夠在要求最苛刻的流程環境中提供一致、可靠和高端的性能。資產的高級功能,如UHDP腔室、精密控制系統和安全功能,可實現最佳的工藝優化、缺陷減少和可靠的操作。