二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-10202 #167840 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-10202
ID: 167840
晶圓大小: 8"
ESC's, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-10202 Asher Etcher是一款前沿機器,專為各種基材提供先進的蝕刻和灰化工藝。該設備完全由不銹鋼構成,能夠以高達每小時2000晶圓的速度進行蝕刻/灰化,並具有高精度和高精度的結果。該系統包括一個Ext-Met單元控制器,用於完整的自動化過程監視和控制。該機配備了高性能的圓盤蝕刻室和兩個傳遞室,每個都有真空泵。圓盤蝕刻室能夠以任何速度蝕刻/灰化材料,每小時高達2000個晶圓,具有充分的環境和工藝控制工具能力。這個腔室有一個可調高度的基座,可以方便的加載和卸載晶片,以及用於過程調整。資產還包括一種氣體蝕刻工藝能力,允許選擇不同的氣流和壓力來配置最優化和精確的蝕刻/灰燼工藝。AMAT 0010-10202 Asher Etcher設計為在全系列材料中以最小的維護和接近完美的蝕刻效果運行。該模型具有內置的溫度和流量控制能力,可以調整以提供盡可能最一致和精確的蝕刻結果。設備還包括均勻性和汙染監測軟件,使用戶能夠遠程監測蝕刻/灰燼過程,並確保材料得到精確處理。該系統還配備了多級可編程控制器,為用戶提供最高級別的過程控制和精度。該單元還包括先進的自動化能力,為多個晶片批次提供穩健的過程控制和支持,具有高度的可靠性和可重復性。機器還包括一個安全覆蓋工具,如果出現任何不規則性,該工具會自動停止蝕刻/灰燼工藝。總體而言,APPLIED MATERIALS 0010-10202 Asher Etcher是一款卓越的機械,旨在提供最高水平的蝕刻/灰化基板生產。其先進的自動化、均勻性和汙染監控器以及安全覆蓋系統使其成為精密過程(如與半導體行業相關的過程)的理想選擇。資產的高速、高精度工藝提供無與倫比的控制和質量控制,使其成為市場上最好的蝕刻機之一。
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