二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-89006 #167778 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 0020-89006是一款先進的半導體制造蝕刻器/asher。這種蝕刻器/asher利用冷等離子體技術來加工薄膜底物。該設備具有平面和3-D圖樣處理能力，可以將薄膜基板蝕刻和粉刷至亞微米精度，並具有可重復的均勻性。該系統的組件包括一個帶負載鎖的蝕刻室、一個帶負載鎖的asher室、一個泵站、一個用於集成過濾器/凈化的室、一個惰性氣體供應、一個精確對準單元、一個氣動模塊、一個電源、一個非原位真空啟動機和一個真空互鎖。該工具旨在提高資產吞吐量和利用率，提高生產產量，減少基板損壞。這種型號能夠處理多達6英寸的晶圓，並且有一個過程控制模塊，有多個配方和每個配方250個步驟。其設計支持多種薄膜蝕刻和基板處理工藝，包括但不限於介電蝕刻、CMP表面平面化、靜電等離子體清潔調理、濺射蝕刻、保形塗層、氧化/氮化和高溫退火。該設備具有多種特點，可確保精確的加工和均勻性，包括晶圓夾緊扭矩和控制、冷卻劑歧管壓力控制、聚焦深度控制的自動對焦能力、調節工藝條件和功率水平的能力、監測關鍵工藝參數的現場測量能力以及防止汙染的綜合清潔室。AMAT 0020-89006是一個工業級的蝕刻器/asher系統，提供具有可重復均勻性的高精度。其先進的特點提供了高效的加工，確保了生產數量運行的均勻性和準確性。其精密的單元提供了薄膜蝕刻和薄膜加工的膨脹能力。這臺機器是生產半導體制造應用的完美解決方案。