二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-77771 #293596913 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-77771是為低溫幹蝕刻和灰化而設計的最先進的蝕刻器或灰化器,可提供先進的圖樣轉換過程,並獲得出色的質量效果。此高性能蝕刻器提供了最高速率的控制參數精度和精確控制,以實現關鍵的過程步驟。它被設計為提供質量最好的基板具有極其緊密的特征輪廓控制和低缺陷密度水平。該蝕刻器適用於多晶矽、二氧化矽、聚酰亞胺、鋁/銅和鋁/矽以及氮化矽等多種材料。它提供了強大的晶圓級工藝，涵蓋淺蝕刻、深蝕刻、深反應性離子蝕刻（DRIE）、等離子體蝕刻、離子銑削和離子束蝕刻。蝕刻器獨特的高級調整提供了對羽流持續時間和占空比的精確控制,實現了多種模式,從淺層特征到非常深的特征,以及在蝕刻和灰化過程之間進行切換的能力。AMAT 0040-7771由於在蝕刻室中電離更充分，蝕刻氣體中離子遷移率更高，也能提供比傳統蝕刻設備更高的質量結果。APPLIED MATERIALS 0040-77771蝕刻器也是由高度可靠的元件構成，具有可調真空室，提供極好的防汙保護。它有一個集成的水冷系統，以確保精確的溫度控制和可靠性，即使在長時間運行。加熱器也集成到系統中，這有助於降低熱梯度。蝕刻器還具有詳細的配方控制系統,使操作員能夠存儲、召回和編輯流程配方以供以後使用。這樣可以快速輕松地調整各種蝕刻和灰化要求的參數,從而避免任何延遲或浪費精力。此蝕刻器是現代蝕刻和灰化機械的絕佳補充,因為它提供了無與倫比的精確度和控制以及廣泛的功能。0040-7771經過設計，為現代半導體制造的尖端需求提供可靠、快速、優質的解決方案。它是任何當代過程工程實驗室的重要組成部分,它希望確保以最高質量傳輸其模式。