二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-77771 #9047010 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-77771
ID: 9047010
Polymide ESC, 195mm.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-77771是一種蝕刻器/asher,一種用於精確蝕刻材料表面的實驗室設備。它利用粒子誘導的蝕刻和灰化原理,能夠逐層去除小面積的材料。這種技術經常被用來創建用於科學測試的微結構。AMAT 0040-77771采用化學底漆化學和真空處理相結合的方式進行蝕刻和灰化。這種組合產生了高精度的納米結構表面,在蝕刻後處理中保持化學穩定。結果一致、可重現、高度可靠。該單元具有直徑約5英寸的大腔室,可接受最多6英寸的要蝕刻和粉刷的材料。壓力範圍為10-6 Torr的真空泵保持室內的最佳工作壓力.此範圍允許清洗和蝕刻各種材料。一套4條氣線(Argon、Oxygen、CF4、Ammonia)可用於在蝕刻和灰化過程中註入化學物質。利用AMAT專利的受控加速技術增強了蝕刻/灰化工藝,提高了反應性離子和聚焦光束向基板的轉移效率。這項技術最大程度地減少了高度復雜區域的過度暴露,並防止了蝕刻表面的結晶和閃爍。APPLIED MATERIALS 0040-77771是進行研究型蝕刻/灰化的理想平臺。它可以配置廣泛的附件,以擴展設備的能力,包括光學系統、光學顯微鏡、幹涉測量、痕量分析和化學蒸氣分析。該單元還為蝕刻/灰化過程的自動化提供了出色的支持,具有高清數字增強成像系統和用戶定義的軟件編程模塊。0040-77771是用於精密材料去除的強大蝕刻器/灰化器。它具有堅固的結構、大的工藝室以及對傳輸效率的高度重視。它結合了化學引發化學和真空處理,使其成為研究和測試的理想產品,其用戶定義的軟件編程允許自動化過程。
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