二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-92696 #171999 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-92696是一個蝕刻器/asher平臺，設計用於各種薄膜材料的腔室蝕刻和灰化。該蝕刻器/asher具有用於示例加載/卸載的全自動設備,並具有基於Windows的HMI。它配備了兩個處理模塊：一個5口袋電光拋光模塊和一個6口袋幹蝕刻模塊。這兩個模塊都具有雙工藝室設計，允許在每個腔室中發生獨立的工藝，並允許處理直徑達18英寸的大型基板。蝕刻器/灰化器系統能夠使用包括濕蝕刻、等離子體蝕刻和反應性離子蝕刻（RIE）在內的多種蝕刻技術來處理各種材料，包括金屬、矽、砷化氙、陶瓷和玻璃。濕蝕刻模塊設有用於腐蝕性蝕刻化合物的加熱浴池，以及用於清潔高效加工的獨立沖洗和排氣系統。等離子體蝕刻模塊利用射頻（RF）源功率,實現定向和各向同性蝕刻,具有出色的蝕刻可控性。RIE模塊通過使用高密度等離子體以最小的碎片實現精確的圖樣蝕刻。AMAT 0240-92696包含復雜的監控功能,允許精確和可重復的過程。例如,自動采樣器使蝕刻器/asher單元能夠在其兩個模塊中不斷監測溫度、壓力和ICP射頻功率。它需要最少的操作員參與，有一個直觀的圖形用戶界面，以允許平穩操作。機器還包括一個自動排氣管理工具，以確保所有氣體從工具中正確排出，以及一個緊急關閉開關以增加保護。總體而言,APPLIED MATERIALS 0240-92696是一個高級蝕刻器/asher平臺,可為用戶提供一系列高精度蝕刻和灰化功能。其集成的自動化資產和監控控制確保了精確的流程,而用戶的參與程度卻很低,而且其廣泛的蝕刻技術使其適合在各種應用中使用。