二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 5200 #170744 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 5200是一種先進的蝕刻/灰分設備（蝕刻器/asher），旨在為下一代材料提供可靠、高質量的蝕刻、灰度器和其他工藝性能。該系統由一個加工室和一個線性運動/平移組件組成，以利於基材的精密蝕刻/灰分。AMAT 5200的工作原理是將氣體或蒸氣引入到工藝室內，並對該室的內容物進行各種流量控制和工藝控制參數。這種先進的控制和工藝特性的結合為用戶提供了一個堅固可靠的單元，可以容納各種各樣的基板，具有最高質量的蝕刻或灰分結果。APPLIED MATERIALS 5200的基本型號附有25.4 cm x 25.4 cm（10 「x 10」）的製程室，可容納高達5000 W的正反向功率，用於蝕刻/灰燼配置。這使用戶能夠為每個進程或asher配置運行30 W,從而提供更大的多功能性和選擇性。5200允許高達1000 °C的溫度、加濕能力和氣流管理。AMAT/APPLIED MATERIALS 5200具有最新的腔室屏蔽技術,可以將用戶與蝕刻或灰燼工藝的任何有害副產品隔離。所使用的屏蔽材料是渦流屏蔽結構，以確保免受有害排放。AMAT 5200提供了一種精確的驅動機器,旨在使過程條件隨時間重復。這是通過線性運動組件實現的，該組件由獲得專利的同步渦流電動機提供動力，以確保蝕刻/灰分工藝的準確性和可重復性。APPLIED MATERIALS 5200還包括可選的控件,例如厚度監視和端點檢測,以允許用戶實時監視過程。5200具有多單元過程監視工具,可用於監視蝕刻/灰分過程的每個步驟,以提高過程的可重復性。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS 5200具有完全集成功能,用戶可以利用其設施內的其他流程或設備。這使用戶能夠輕松地將其現有的蝕刻/灰分配方轉換為AMAT 5200。總而言之,APPLIED MATERIALS 5200為各種基材提供了最新的高質量蝕刻/灰分功能。5200具有先進的工藝室、屏蔽材料、精確的驅動器資產、數據監控和集成功能,是尋找新一代蝕刻/灰燼性能的用戶的理想解決方案。