二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #293645356 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 8100 蝕刻器/asher是為半導體器件的高生產率納米蝕刻和灰化而設計的設備。AMAT 8100 蝕刻器/asher包含一個ColdWall™加工室,能夠在高達300 C的溫度下處理200 mm大小的基板。該系統采用電感耦合等離子體技術，對各種材料進行更快、更均勻的蝕刻。這允許循環時間遠低於1分鐘的ashing和蝕刻任務。APPLICED MATERIALS 8100 蝕刻器/asher還具有用於自動裝載和卸載基板的雙桶運輸機制。雙桶設計方便了更快的裝卸，提高了運行多種配方的靈活性。8100 蝕刻器/asher支持許多常用材料（如矽、二氧化矽、鋁、鎢、電介質等）的工藝配方和兼容蝕刻氣體。該單元提供了一系列物理過程控制變量，如壓力、等離子體功率和過程氣流，使用戶在蝕刻方面具有靈活性。AMAT/APPLIED MATERIALS 8100 蝕刻器/asher還提供了強大的數據記錄和分析功能,以及一個全面的配方庫,允許用戶創建、存儲和管理自定義配方,從而加快了流程的設置和執行。AMAT 8100 蝕刻器/asher是一種理想的機器,可用於通過填充、接觸孔蝕刻和防反射塗層去除等應用。該工具旨在提供出色的過程重復性和性能。用戶友好的設計和靈活性使其適合廣泛的工藝應用，允許用戶實現最大程度的蝕刻和灰度生產。