二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #9356903 待售
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ID: 9356903
Oxide etcher
CTI-CRYOGENICS Cryo-Torr Vacuum pump
LEYBOLD-HERAEUS Turbotronik NT 450 Vacuum pump controller
LEYBOLD-HERAEUS Turbo pump
Boards: CPU, PROMA, RAM, PROMB, A/N, C/D, (3) DI, (3) DO, ADC, DAC, SIO
Mass Flow Controller (MFC):
Make / Model / Gas / Range
TYLAN / FC-260V / N2 / 100 SCCM
TYLAN / FC-260 / N2 / 100 SCCM
TYLAN / FC-260 / N2 / 50 SCCM
TYLAN / FC260KZ / BCL3 / 200 SCCM.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8100是為先進的半導體制造工藝而設計的高精度蝕刻/asher設備。該系統采用先進的光刻技術設計,為蝕刻/灰化應用提供精確一致的結果。它使用物理氣相沈積(PVD)和反應性離子蝕刻(RIE)技術進行高級圖樣和微米層蝕刻/灰化。AMAT 8100的CompuShape軟件提供了卓越的精確度,能夠在基板表面上精確形成形狀和圖案。APPLIED MATERIALS 8100通過其先進的控制單元,確保了過程的一致性和準確性。計算機控制的腔室溫度、壓力和流量都可以進行監控和調整,以最大限度地提高工藝性能。該機器還能夠進行測試以驗證過程參數和穩定性。8100還提供了一個令人印象深刻的功能集,其性能超出了可預測的性能。該工具配備了內部氣體資產,具有100種氣體,允許以最少的努力進入多達30個過程。其光掩模和自動對齊功能確保所需的圖樣與基板完美對齊。此外,用戶友好的界面和自我診斷功能使AMAT/APPLIED MATERIALS 8100成為大多數蝕刻/灰化過程的理想選擇。在安全方面,AMAT 8100配備了行業標準的安全功能,降低潛在風險,防止操作失誤。其真空自動過濾模型提供了額外的粒子控制,以確保一個幹凈的房間級蝕刻/灰化環境。APPLIED MATERIALS 8100還具有設備和用戶鎖定功能,可確保系統不會發生任何未經授權的更改。8100是一個功能強大的蝕刻器/asher單元,適合各種應用和工藝要求。憑借其精確的控制特點和先進的光刻技術,精密的圖案和形狀可以被蝕刻或粉刷,具有最高的精度和可重復性。它強大的功能集、安全功能和用戶友好的界面使其成為要求最苛刻的半導體制造工藝的可靠且經濟高效的選擇。
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