二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #9356906 待售
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ID: 9356906
Oxide etcher
Pump power rack
Heat exchanger
Electrical power rack
8100E Circuit breaker box, P/N: 01-81914-00
Boards: CPU, ADDR, PROMA, RAM, PROMB, BATT, A/N, C/D, (3) DI, (3) DO, MDR, ADC, DAC, SIO, PS.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8100是一種用於半導體器件生產的蝕刻器/灰化器。其緊湊的設計、多功能性的蝕刻功能以及高吞吐量率使其成為低容量和高容量生產及工程應用的理想解決方案。AMAT 8100提供了一個集成的微波發生器,它提供了比手動方法更高的源功率,從而能夠精確控制和處理復雜的薄膜結構。該發電機還與原位壓力控制器配對,以確保精確蝕刻均勻性和降低漂移敏感性。APPLICED MATERIALS 8100板具有創新的多點鎖載設備,旨在提供工件與加工流體之間的緊密接觸,以實現工藝結果的最佳均勻性。8100配備了一系列焊接、互鎖的元件,確保了工藝的安全性、可靠性和準確性。該系統使用自動饋入鎖定功能,以確保在此過程中所有安全組件保持安全接合。此外,AMAT/APPLICED MATERIALS 8100還擁有一個集成的盒式晶圓提升和傳輸單元,可優化加載時間、減少加載錯誤並確保過程結果的一致性。AMAT 8100先進的自動化和過程控制系統為用戶提供了實時監控蝕刻過程並即時進行調整的能力。這包括廣泛的過程測量和警報,以及完整的數據顯示和控制,以及可重復蝕刻過程的多配方內存和存儲。APPLICED MATERIALS 8100還集成了先進的高級流體管理機器,允許用戶為其所需的蝕刻過程配置最佳溫度和流量分布。8100有多條車載線路,可用於引入多種流體,包括腐蝕劑、光致抗蝕劑和電介質。AMAT/APPLIED MATERIALS 8100進一步支持對耗材的高效管理,如氣體輸送、操作員簽名和用戶定義的數據日誌記錄。AMAT 8100 蝕刻器/asher具有多種特點,是一種功能強大且可靠的半導體器件生產解決方案。APPLIED MATERIALS 8100增加了安全性、精確度和自動化系統,使其成為低批量和大批量生產及工程應用的合適選擇。
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