二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #293652765 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 蝕刻器/asher是一種多功能、高性能的工具,用於對包括矽、石英和其他電介質在內的各種基板進行蝕刻和圖案化。它是為快速、高效的材料去除而設計的，以創造微米到亞微米尺度的裝置特性。該工具能夠控制蝕刻深度和寬度，使用反應性離子蝕刻（RIE）工藝精確度優於10埃。AMAT 8110具有閉環加工室以確保均勻性,並配備自動並聯電感耦合等離子體（iCP）源,可實現高長寬比和步進覆蓋。自動化晶片處理技術為大批量生產提供一致、可重復的結果。蝕刻器/asher設計用於處理多達24個6英寸（150毫米）晶片的批次,以實現高吞吐量和最大生產率。該工具設計用於與各種蝕刻氣體兼容，包括氯氣（Cl2）、碳氟化合物（CF4和CHF3）、氧氣（O2）和三氟化氮（NF3）。采用高純度蝕刻氣體和閉環加工室，提高了蝕刻的均勻性、最終吞吐量和可重復性。此外，蝕刻器/asher可以配備石英晶體監視器（QCM），直接就地監測蝕刻過程。APPLICED MATERIALS 8110 蝕刻器/asher包括集成的壓縮機和真空設備，以及閉環冷卻系統，提供優化的等離子體環境。板載用戶界面提供直觀的控制、監控和記錄各種工藝參數，包括溫度和壓力。該工具還支持對幾個流程變量進行實時監控，從而實現流程優化和維護流程一致性，以實現高產率。為了解決與過程可重復性相關的問題，該工具利用具有模式識別的專有焦炭速率分析單元來確保從晶圓到晶圓的一致蝕刻結果。8110還提供了用於步進覆蓋和高寬高比結構的精密自動晶圓對準機選項。作為其標準設備的一部分，AMAT/APPLIED MATERIALS 8110還配備了可編程反饋環路控制，使探針測試能夠改進產量結果的過程控制。AMAT 8110 蝕刻器/asher旨在幫助制造商提高生產產量和質量。其多才多藝的設計、高吞吐量和堅固的硬件,以可重復的性能和最大的產量實現了快速高效的生產。該工具是半導體制造商必不可少的工具,可實現最高的縮放和設備精度。