二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9076418 待售

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ID: 9076418
Oxide etcher, 5" Parts system Currently installed in a cleanroom.
AMAT/APPLICED MATERIALS 8110(以下簡稱「AMAT 8110」)是一種用於半導體加工的精密蝕刻器和asher。它位於1級潔凈室環境中,有多個組件,其設計符合行業標準的精確度和準確性。APPLIED MATERIALS 8110專為高效率晶圓處理而設計。它采用兩步循環,包括兩個獨立的腔室:一個蝕刻腔室和一個asher腔室。這種組合可以提高生產率,從而縮短周期時間並改進結果。8110的蝕刻室用於去除晶片基板上的材料。它的工作原理是利用反應性氣體和等離子體能量的組合,將圖樣蝕刻到材料中。該腔室由惰性表面構成,能夠在高達400攝氏度的溫度下運行,進行各種不同程度的蝕刻。AMAT/APPLIED MATERIALS 8110的asher室用於將材料沈積在晶片基板上。它的工作原理是將反應性氣體引入室內,然後通過應用高能等離子體使其汽化。這種汽化的材料隨後作為薄膜沈積在晶片上,形成圖樣和特征。AMAT 8110還具有許多為操作方便而設計的組件。其中包括板載控制器、自動診斷和多重靈敏度深紫外線(DUV)激光器。這種激光器可以探測極小的波長,允許在蝕刻和沈積過程中有更高的精度。APPLIED MATERIALS 8110配備了高級安全協議,為用戶和組件提供最高級別的保護。它包括多次PFMEA審計,旨在消除任何潛在的交叉汙染。這是通過使用密封和自動壓力控制系統來實現的,這些系統的設計目的是在密室內保持準確的大氣水平。總之,8110是一種用於高精度晶片加工的可靠、可靠的蝕刻器。它具有許多專為操作員方便和安全而量身定制的功能,是當今市場上最先進的機器之一。
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