二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9269146 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110是一款蝕刻器/asher，提供卓越的等離子體蝕刻性能，實現卓越的工藝質量和可重復性。它是一種能夠蝕刻多種材料的獨一無二的設備。系統配備了兩個獨立的Premium Controllers和兩個基板卡盤，設計用於運行多種材料和工藝配方。AMAT 8110單元具有高通量、高批量的生產流程,適用於各種應用程序中的所有蝕刻操作。高性能腔室可容納所有基板尺寸,並預配置APM 1700或1400進紙機（適用於較大的卷）。APPLICED MATERIALS 8110還包括先進的數字管式爐和大型排氣冷卻工具，實現了快速坡道速率和深度蝕刻性能。8110通過集成的過程監視工具（如可跟蹤文件、參數文件和過程監視器）提供了卓越的重復性。這樣可以確保資產輸出和性能一致。數字管式爐可實現快速溫度斜坡，最大限度地減少蝕刻過程關鍵部分的變化。AMAT/APPLIED MATERIALS 8110具有靈活的電極設計,增強了過程控制和可重復性,同時由於其三個蝕刻電極而提供了卓越的靈活性。AMAT 8110還有多種控制，包括動態壓力控制器、氧和氟流量控制以及電弧電壓調節。這允許用戶定制蝕刻過程並調整過程以達到最佳效果。APPLICED MATERIALS 8110可用於蝕刻金屬、聚合物、絕緣體和半導體，提供各種材料類型的競爭性能。最後,8110可以集成到現有的單元體系結構中,並與其他AMAT設備配對,作為完整模型配置的一部分。AMAT/APPLIED MATERIALS 8110是高性能蝕刻應用的完美蝕刻器/asher。其先進的技術和設計為所有材料類型提供了卓越的蝕刻性能、可重復性和控制。這種用戶友好的設備為用戶提供了最高級別的工藝性能和生產率。