二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8115 #78336 待售
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單擊可縮放
ID: 78336
晶圓大小: 5"
Plasma Etcher for 5" wafers
System includes:
25 x 25 SS water cooled bell jar
Power hoist
AMAT PLC controller
Auto valve control
2Kw RF power supply with matching network
Multi MFC gas inlet & pressure controller
Heat & cool exchanger pump assembly
Three gas manifold
Leybold TMP1000 L/S Turbo pump
D60 Mechanical pump
Quartzware and Spares
Manuals
Not included:
RF power supply
Turbo pump and controller
Gas and vacuum manifold
Mechanical pump
Gate valve
O-rings
Seals
Gaskets
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8115 蝕刻器/asher是一種先進的幹蝕刻設備,設計用於處理尺寸為8英寸的圓形或矩形晶片。用於多種行業，如半導體制造、平板顯示器、MEMS制造等。其蝕刻能力使得它非常適合類似尺寸的基板。該系統具有精密的控制單元，允許精確的過程控制和可重復性。該機精密的兩軸運動運動控制實現了高性能、可重復的蝕刻結果。AMAT 8115的另一個特點是能夠處理各種加工氣體，包括O2、Cl2、SF6、NH3等。這種氣體柔韌性使其能夠適應各種蝕刻需求。APPLICED MATERIALS 8115利用硬陰極、開場元件，其設計提供比磁控管系統更均勻的蝕刻。此外,集成射頻發電機可提供高達300 W的高功率輸出。該工具在緊湊的空間內運行,由轉移模塊、反應室、機器人和廢氣資產組成。該模型旨在方便晶片的自動化裝卸。該設備還配備了氣體監測能力，以確保該過程達到最佳水平。8115 Etcher/Asher專為提供高性能蝕刻而設計,具有極高的精確度、重復性和長期可靠性。它是半導體制造商和其他行業利用微加工工藝的一種方便、經濟高效的工具。
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