二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8115 #9196362 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8115是一種蝕刻/灰分設備,在許多高級材料沈積和蝕刻過程中為關鍵器件層提供高速蝕刻和灰分。AMAT 8115為矽片半導體加工的關鍵應用提供了卓越的工藝性能。該系統為矽、二氧化矽、多晶矽、氮化物和金屬等多種材料提供精密蝕刻和灰化。此設備由高級軟件包提供支持,該軟件包具有集成的內存網絡和處理器,使用戶能夠獲得最佳的性能、工作效率和成本效益。APPLIED MATERIALS 8115包括兩個獨立和自動化的工藝源,旨在提供最高的工藝產量。用戶能夠使用最新技術優化其流程,並且8115將同時運行單獨的蝕刻和灰分流程配方。AMAT/APPLIED MATERIALS 8115具有全自動射頻源、低存儲區數據收集和晶圓配置圖選擇功能,允許用戶為單個晶圓選擇工藝目標。這樣可以提高流程的均勻性,並改善周期時間。AMAT 8115有一個內置的光學機器，用於觀察晶圓表面進行實時的過程監測和診斷。這允許流程優化、維護和產量改進。APPLIED MATERIALS 8115能夠支持廣泛的配方參數,包括高效氣體輸送、功率、溫度、壓力和腔室控制。它還提供了高速蝕刻、高效冷卻和快速清除工藝殘留物的嚴格組合。這有助於維持高度先進工藝的嚴格加熱、冷卻和蝕刻要求。此外,8115構建在開放式體系結構平臺上,因此它可以輕松與其他AMAT設備和軟件模塊集成。憑借其廣泛的功能集,用戶可以輕松執行眾多蝕刻和灰燼應用程序。AMAT/APPLIED MATERIALS 8115是一種緊湊有力的工具，非常適合許多先進材料的基材加工。