二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8116 #9226746 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 8116是一款用於半導體加工的高性能蝕刻/asher設備。該系統專為薄膜的精確、精確和高度精確的沈積和蝕刻而設計。它用於清潔環境中的生產過程，適用於各種半導體材料和應用。AMAT 8116具有單片加載單元,可實現快速可靠的吞吐量。其開放式平臺設計實現了高性能真空操作。該機還具有運行壓力延長、控制精度高、溫度均勻性等特點。APPLIED MATERIALS 8116的獨立溫度控制工具允許在整個沈積或蝕刻過程中進行精確的熱控制。該資產具有高精度的Asher/Etcher沈積過程，包括廣域和多點沈積，並能進行透膜和透氧沈積。Asher/Etcher可用於幹蝕刻工藝，主要用於半導體器件中溝槽結構的形成。所有沈積和蝕刻過程參數都是通過觸摸屏上用戶友好的圖形界面設置的。通過「即插即用」概念和高精度的溫度控制來確保可靠性。該型號設計用於全天候生產模式，具備完全集成的智能設備能力。軟件允許自動化的流程序列控制和監控技術。8116具有高級安全增強功能,包括基於酸的安全管理系統。安全裝置包括沐浴水溫和pH監測、報警系統以及適當額定的防護罩。該機還配備了50多個零件完整性監控工具，確保沒有有缺陷的零件重新進入蝕刻單元並發送給客戶。AMAT/APPLIED MATERIALS 8116是一種高性能、靈活的蝕刻沈積資產，提供無與倫比的沈積精度、均勻性和可重復性。憑借其獨一無二的擴展運行壓力、溫度控制和安全系統，AMAT 8116是廣泛半導體應用的完美解決方案。