二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8116 #9250130 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 8116是一種為半導體器件制造而設計的蝕刻器/asher。它是一種單晶片等離子體蝕刻器/asher，配備了高度可編程的控件和高均勻性。AMAT 8116主要用於集成電路（IC）設備生產。APPLIED MATERIALS 8116使用射頻功率在設備周圍創建一個相對低溫的等離子體，然後用來蝕刻材料層。8116采用金屬屏蔽（MS）腔室設計,通過最小化射頻功率泄漏來優化等離子體均勻性。腔室還利用平行板電極，以確保均勻性和相配的等離子體密度跨越晶圓的直徑。此功能允許將小的隔離區域精確地制作到最小的規格。AMAT/APPLICED MATERIALS 8116還具有超高真空（UHV）機械泵，可處理Ge/Si、SiGe/Si等高性能材料。此外，由於其高精度氣體輸送系統，AMAT 8116能夠達到精確蝕刻操作所需的精確工藝條件，如脈沖和自旋蝕刻。其他高級功能,例如可調節的狹縫和可調節的淋浴高度,可以精確控制蝕刻幾何形狀和均勻性。APPLIED MATERIALS 8116是交鑰匙就緒,提供卓越的性能和可靠性。利用脈沖技術，可以實現高通量納米和亞微米的最小特征尺寸。8116是基於IGBT的,由可擴展電源供電,可針對特定蝕刻過程進行調整。其優異的等離子體均勻性、較低的運行成本和靈活性，使其成為先進設備制造的理想選擇。