二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #101449 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 Asher/Etcher是一種兩級、高通量、光刻兼容的熱化學加工設備，設計用於蝕刻或粉刷各種材料，包括二氧化矽、石英、矽、移植物和其他半導體。該系統能夠以高速（每小時超過90個晶圓）和高均勻性運行。AMAT 8300單元配備了高真空、多步asher平臺和高性能、低真空asher/Etching室，方便了工藝的吞吐量。高真空機可以達到高達1.2E-7 torr的壓力，允許整個過程的均勻性。針對低真空操作對透晶片加工室進行了優化。高通量蝕刻/灰化室包括工藝氣體選擇、氣流控制器和溫度控制器。所有這些組件都經過敏感的溫度監測和/或處理,以確保對過程的最佳控制。最終結果是具有出色的邊緣清晰度、較低的薄片電阻和最小的載荷效果,並在不同類型的灰燼或蝕刻器中進行了典型的改進。APPLIED MATERIALS 8300的特點是有專利，無電極等離子體源裝載稀有氣體，提供了高可預測性的工藝參數。這樣可以確保整個過程的一致性。該工具還配備了上遊氣體箱和氣體混合資產，使加工氣體能夠隨著溫度控制得到準確和精確的測量和監測。8300是為卓越的吞吐量而設計的。高真空模型每小時可處理多達90個晶片，低真空設備每小時可處理45個晶片。這意味著它能夠快速處理大量不同大小和厚度的晶片。AMAT/APPLICED MATERIALS 8300還提供了極大的易用性,其直觀的用戶界面（UI）使用戶能夠輕松設置和運行流程。UI包括高級工具,如配方庫、流程監視器和歷史記錄。這使用戶能夠快速分析其流程的性能並進行相應調整。總體而言,AMAT 8300 Asher/Etcher是一個極其堅固可靠的系統,可用於高級工藝的各種材料的蝕刻/灰化。它專為高吞吐量和統一性而設計,並提供了一個用戶友好的界面,可快速輕松地設置和運行流程。APPLICED MATERIALS 8300提供出色的工藝效果以及極大的靈活性和可擴展性。