二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #293610283 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 8300是一種多功能蝕刻器和asher設備，設計用於半導體基板的復雜陣列。該系統將深反應性離子蝕刻（DRIE）和等離子體灰化結合在一個單元中，從而可以快速制圖高性能設備。AMAT 8300可用於加工8英寸晶圓大小的基板,並具有可擴展的工藝窗口以容納各種基板和工藝參數。對於蝕刻，機器使用嵌入在輕質玻璃纖維機身中的先進的感應耦合等離子體（ICP）源來提供高蝕刻速率吞吐量。該ICP源的設計采用了一系列可調節的參數,用於低成本生產。Ashing是通過將含氧氣體如O2或O3引入反應室中，然後用外部等離子體源激活氣體來完成的。這種等離子體灰化允許以非接觸方式控制沈積和/或去除材料。該工具的設計具有很高的可靠性和可重復性,其自動化工藝配方允許對工藝參數進行微調以達到最高規格。APPLIED MATERIALS 8300具有較長的工作壽命和高精度,非常適合制造各種設備,包括數字、模擬和高速內存部件。8300帶有一臺車載微型計算機,可進行遠程監控,而大型查看窗口可輕松查看內部進程室。為確保精度和質量,AMAT/APPLIED MATERIALS 8300配備了專用的過程控制和計量系統,並在該過程中自動調整蝕刻參數。最後，AMAT 8300附有全面的安全包。QSX軟件套件允許自動監視流程參數和潛在故障點,並在出現任何潛在問題之前發出警報。反應室的鎖和滅火裝置等安全特性確保模型符合所有安全法規和協議。總體而言,APPLIED MATERIALS 8300是一款功能強大且可靠的蝕刻和灰化設備,旨在實現最佳的生產效率和質量。