二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300E #9177298 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8300E 蝕刻器/asher是表面微加工和半導體應用的重要工具。它是為高級蝕刻和灰化操作而設計的高性能設備。AMAT 8300E提供了對蝕刻參數的精確控制，並提供了廣泛的可選工藝氣體和配方設置，以滿足現代微電子制造設施的需求。APPLICED MATERIALS 8300 E配備了一個混合快速熱氧化/擴散（HRTOD）工藝室，具有對溫度、壓力、時間、流量等工藝參數的精確控制。在同一室采用快速熱處理和化學解離工藝的獨特能力提供了最高質量的等離子體蝕刻和灰分工藝。它還包括25°至850°C的主腔室溫度範圍、石英視圖窗口以及高達20 mTorr的工藝環境。該系統還配備了一個氧化物去除裝置（ORS），用於安全清除鋁矽酸鹽基板上發現的礦物殘留物和以往加工程序遺留下來的其他殘留物。ORS具有集成的氣體噴射器,可快速分解和去除薄膜表面的氧化物、氮化物和金屬。AMAT 8300 E為優化蝕刻控制（OEC）提供了高效射頻發生器,實現了蝕刻參數的精度和改進的工藝結果。該機還具有獨立的氣體註入功能，使用戶能夠為各種蝕刻工藝選擇理想的參數，並針對所需的結果進行優化。除了蝕刻和灰化外，APPLIED MATERIALS 8300E還為各種材料提供一系列的蝕刻後操作，包括使用基於質粒的氫氣工藝或O2-based工藝進行等離子體後清洗。AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 E還提供了一種自旋清潔操作，無需人工擦拭即可清除加工基板上的殘留顆粒。8300E是一種高度機動性的工具,可輕松集成到現有的制造環境中,能夠滿足當今最新的先進半導體加工技術的最嚴格要求。
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