二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300E #9244442 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8300E Etcher/Asher使用下一代10KW ICP蝕刻技術,以便在高級工藝節點中快速準確地蝕刻高縱橫比結構。這個系統是專門為蝕刻多種不同的材料而設計的,如矽、多晶矽、鎢、銅、Ni/V/Ti、III-V化合物等難以蝕刻的材料。此外,AMAT 8300E與溫度有關,可以微調蝕刻參數以適應高變化過程。APPLIED MATERIALS 8300 E能夠縮小到高縱橫比結構,從而能夠為5nm及以下工藝節點制造創新組件。它還結合了多點給藥、原位雙方向清潔以提高整個設備的純度等幾個非視線特性,以及使用電介質進行輪廓修改。這大大提高了蝕刻工藝的質量。AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 E還具有先進的監控功能;其集成的過程監控與後端支持、自定義擴散退出控制以及高級產量管理相結合,有助於最大限度地降低成本並減少停機時間。它還配備了高效的軟件算法,為工藝室精確調節流量、壓力和溫度。8300E提供了更高的可靠性和更高的性能,降低了擁有成本並提高了生產率。APPLIED MATERIALS 8300E還支持跨多個站點的多工廠操作。其多區域功能使用戶能夠配置不同的蝕刻參數,最大限度地提高其工藝能力。8300 E Etcher/Asher是一種最先進的蝕刻解決方案,可在高級工藝節點中提供高水平的靈活性、生產率和可靠性。
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