二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #293619542 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 Etcher/Asher是半導體製造中使用的一種工具，旨在提供精確且化學控制的蝕刻工藝。該設備使化學蝕刻能夠精確控制化學反應參數和蝕刻化學。用於蝕刻或成形多種材料，包括金屬表面、二氧化矽（氧化矽）、氮化物和聚合物。AMAT 8310由一個定速轉盤、一個容納蝕刻化學品的腔室和一個氣體進料子系統組成。轉盤被設計成以可靠的速度精確旋轉基板，以便均勻地應用蝕刻化學。蝕刻室包含一系列塗有特氟隆的電極，每個電極都提供受控量的蝕刻藥劑。氣體進料子單元向腔室輸送一系列氣體，如CF4、O2和N2，為化學蝕刻過程提供了最佳環境。該過程是通過將基板裝入機器內的高真空室啟動的。轉盤的機械旋轉由可調速電動機控制，蝕刻化學由自動化學輸送工具提供。氣體進料子資產隨後將引入支持蝕刻過程所需的適當氣體，而腔內的電極將產生蝕刻化學品的均勻分布。然後對腔室進行加壓，使其達到進行蝕刻所需的溫度和壓力。然後用射頻發生器和監測模型監測該過程。該設備控制施加到晶片上的射頻功率，確保蝕刻以正確的速率進行。監視器還顯示工藝參數信息，顯示取得的蝕刻程度、蝕刻完成前剩余的時間以及腔室當前的工作溫度和壓力。一旦蝕刻完成，腔室通風、降壓、冷卻。然後將基板從腔室中取出並用光學顯微鏡檢查，以驗證所需的圖樣和表面地形。APPLICED MATERIALS 8310能夠在無需人工幹預的情況下處理數千種基材，確保快速可靠的蝕刻。