二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #293619543 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 蝕刻器/asher是半導體制造商使用的一種高級蝕刻/灰化工具。它是一種反應性離子蝕刻（RIE）設備，能夠提供有效的工藝結果。它利用最新的技術進步，包括先進的溫度補償和智能軟件算法來控制反應速率和確保有效的過程。AMAT 8310 蝕刻器/asher系統由幾個組件組成。這包括一個感應耦合等離子體（ICP）源、一個處理外殼、一個運輸臺和真空室。ICPsource采用高頻施加電壓和強磁場，生成一個填充等離子體的反應室，用於半導體材料的反應性離子蝕刻。處理外殼為半導體基板的自動加載、卸載和處理提供了一個安全的環境。運輸表確保在蝕刻/灰化過程中基板的精確對齊。最後，利用真空室實現了控制蝕刻和灰化過程所需的工藝壓力。APPLICED MATERIALS 8310 蝕刻器/asher單元還采用了先進的溫度控制技術，並采用了專有的大氣控制機（ACS）。這樣就可以統一冷卻過程並避免熱點,從而提供更好的過程控制和可重復性。此外，ACS有助於減少晶片表面的氧氣和其他氣體的數量，從而對工藝性能和可靠性產生負面影響。8310蝕刻器/灰燼工具提供了出色的蝕刻/灰燼配方,可根據應用程序的特定要求量身定制。由於其高度精確的過程控制功能,資產能夠提供可重復的結果並確保材料質量。綜上所述，AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 蝕刻器/asher模型是一種先進的設備，它結合了最新的技術進步和堅固可靠的部件。它提供了出色的過程控制和可重復性,以及可針對特定需求量身定制的卓越蝕刻/灰分配方。這些因素使得AMAT 8310 蝕刻器/asher系統成為尋求在蝕刻/灰化過程中取得優異成績的半導體制造商的理想選擇。