二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9122949 待售

ID: 9122949
Oxide etcher.
AMAT/APPLICED MATERIALS 8310是半導體工業中常用的蝕刻器和asher。它是離子註入和沈積過程的理想溶液。作為多功能蝕刻器,可用於沈積、蝕刻、洗滌、清潔多種半導體薄膜。AMAT 8310提供卓越的一致性、可重復性和過程控制,是小型晶圓和小容量應用的理想選擇。APPLIED MATERIALS 8310設計為能夠與各種能源一起運作,同時支援射頻和N2蝕刻能力。它配備了一系列的特點,包括幾個加工模塊的高級軸向級,一個大腔室,以及一個與霧化器配合沈積的載荷鎖腔室。PM2工藝模塊配備了優化的離子磨和陽極離心機,用於工藝微調。8310提供高速高精度asher能力,以及高容量過程能力。它與用戶友好界面和內置的EGA自動遠程接口(ERI)系統集成在一起,方便操作。它的兩件式系統允許使用RF和N2蝕刻工藝,非常適合低產量和高產量。AMAT/APPLIED MATERIALS 8310還配有熱氣系統和微調器,可在低熱應力下提供高產率的最佳沈積工藝。它有一個非接觸渦流傳感器,允許在廣泛的溫度範圍內精確的沈積測量。AMAT 8310旨在提供可靠的性能,並有24個月的保修支持,使其成為工業和研究應用的絕佳選擇。APPLICED MATERIALS 8310具有強大的設計和較高的工藝控制能力,為用戶提供了對參數的卓越控制,這些參數可用於處理最高質量的結果。
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