二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9196363 待售
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ID: 9196363
晶圓大小: 6"
Metal etcher, 6"
With pump
RF Rack and controller
AMAT Controller unit
AMAT 0010-00141 Rack, 8300E
LEYBOLD HERAEUS
Type: 720-26-000
Chamber: AMAT Pre-reactor.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 Asher是一種集成蝕刻設備,用於基材清潔和蝕刻過程。該蝕刻系統專為高性能而設計,具有300 mm晶圓尺寸。該蝕刻器具有高達每小時30個晶圓的高吞吐量,使得它非常適合生產環境。該單元在可以使用的蝕刻氣體中具有柔韌性,由於其熱板設計,能夠達到高達500 °C的溫度。它配有Class-1安全室,提供良好的熱均勻性,最高溫度變化為1 °C。AMAT 8310 Asher使用高精度浮雕機構對薄膜進行精確蝕刻。它具有強大的硬件和軟件功能,允許用戶輕松調整壓力和氣體濃度。其先進的等離子體機器減少了停機時間,並提高了等離子體的生成和處理能力,確保了高質量和可靠性。該蝕刻器以更高的速度和精度提供循環時間,從而減少了生產所需的時間。它同時配備了射頻和直流電源,允許它同時蝕刻高低介電材料。該控制軟件設計用於在蝕刻過程中監控每個晶片,以確保均勻性和質量。APPLIED MATERIALS 8310能夠處理和清除極端汙染,使用戶能夠快速輕松地解決過程問題。該工具能夠處理高水平的靜電和田間顆粒,提高清潔度,提高產量。總體而言,8310 Asher是一種高性能蝕刻資產,可提供高質量的蝕刻和清潔度。它易於使用,具有良好的熱均勻性,對於需要高通量和出色蝕刻質量的生產環境而言,是一個極好的選擇。
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