二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9365710 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310（AMAT 8310）是一種自動化的等離子體蝕刻器/灰化器，設計用於高通量和精確蝕刻/灰化圖樣基板。該設備能夠對SiO2、SiN、Si3N4、聚酰亞胺、金屬、氮化物等多種材料進行蝕刻/灰化。該系統配備了可調雙電子束槍、集成視覺單元和多站機器人操控機。APPLIED MATERIALS 8310由真空室、隔離室和雙電子束槍組成。真空室提供了精確圖樣蝕刻/灰化所必需的均勻等離子體環境。隔離室允許氣體在惰性大氣中註入工藝室，紫外線輻射從工藝區阻擋，減少汙染。雙電子束槍是蝕刻器/灰化器中最重要的部分。電子束提供等離子體精確活化所需的能量。這樣可以提高蝕刻/灰化過程的吞吐量。雙槍技術有助於在需要多個蝕刻級別的情況下消除重新放置基板的需要，從而減少蝕刻/灰化的總時間。8310配備了對準、現場檢查、模式識別的集成視覺工具。這樣可以確保圖案精確對齊,並且基板符合制造商的規格。此外，利用多站機器人處理資產提供額外的基板處理靈活性。這有助於減少人工幹預的數量，從而顯著提高吞吐量。最後,AMAT/APPLIED MATERIALS 8310專為大批量生產而設計,它有一個擴展的數據庫,允許用戶存儲特定材料蝕刻/灰化過程的配方。該型號還提供了三種不同的操作模式：手動、半自動和自動-每個模式都為各種應用程序提供最佳性能和穩定性。總之，AMAT 8310提供了一種自動化、高通量、精密的蝕刻/灰化設備，能夠通過集成視覺系統和多站機器人操控單元，加上可調節的雙電子束槍來進行廣泛的材料蝕刻/灰化，以實現高精度。