二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310A #9356368 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A是一種由真空室組成的蝕刻器/灰化器設備,為濕法和幹法進行灰化和蝕刻提供了必要的環境。AMAT 8310A獨特的模塊化體系結構允許快速交換組件和保持真空的靈活性。它的額定功率和高容量的集成源技術使灰度和蝕刻過程能夠快速、高效和可重復。重型真空系統用熱能或射頻能源安全灰燼、蝕刻、幹洗，確保操作員安全，同時優化物料去除。APPLICED MATERIALS 8310A配有AMAT ED3控制單元，可嚴格控制灰度/蝕刻過程和真空機管理。其獨立測試和認證的封口、環境密封和經過驗證的過程管理確保了一個可靠和一致的過程。此外，先進的泄漏測試和真空穩定性檢測確保了工具及其部件的安全性。8310A適合各種灰泥和蝕刻工藝，包括幹濕蝕刻。幹蝕刻過程，例如等離子體蝕刻，涉及產生熱量或射頻能量，以最精致的方式去除材料。AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A可自動控制工藝參數,例如壓力、溫度、氣流和氣體成分,從而能夠快速設置和優化灰度和蝕刻配方。高級遠程控制資產提供了對蝕刻器/asher的數據和操作的安全控制,並提供了遠程診斷錯誤和訪問媒體存檔的選項。它還提供靈活的配置和過程監控,內置振動檢測模型,允許實時監控過程條件。除了加強和自動化蝕刻和灰化工藝的各種技術外，AMAT 8310A還提供了一些提高效率的功能，如縮短周期時間和提高生產率。它的模塊化結構提供了最大限度的過程控制空間，可以進入各種腔室和多種能源。這使得設備能夠有效地灰化、蝕刻和幹洗各種材料和基材。APPLIED MATERIALS 8310A非常適合需要快速、高效和可重復的蝕刻和灰化工藝的行業。