二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293762395 待售

ID: 293762395
晶圓大小: 6"
優質的: 2005
Etcher, 6" Non-functional Materials: Al, Mo, Ta, Ti, and indium tin oxide Bell jar dome included 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330是半導體工業中用於矽晶片精密處理的一種高度先進和精密的蝕刻器/asher。該工具旨在在納米級蝕刻和清潔晶片,以實現半導體器件制造中的高精度和一致性。AMAT 8330配備了最先進的技術和功能,使其成為各種蝕刻和灰化應用的通用可靠工具。它以其高吞吐量、出色的工藝均勻性以及對諸如蝕刻速率、選擇性和輪廓控制等參數的優越控制而著稱。APPLIED MATERIALS 8330的關鍵部件之一是工藝室,其設計目的是為蝕刻和灰化過程提供受控環境。該腔室由耐腐蝕性化學品和高溫的高質量材料構成,確保了可靠的性能和長期耐用性。該室配有先進的加熱和冷卻系統,以在加工過程中保持一致的溫度,以及用於精確控制工藝氣體的氣體輸送系統。8330具有先進的等離子體生成設備,對於蝕刻和灰化過程至關重要。等離子體是通過對腔內的氣體混合物施加射頻(RF)功率而產生的,導致與晶圓表面相互作用的反應性離子和自由基的形成,有選擇地去除物質。射頻功率可以調整,以控制等離子體的密度和能量,允許精確調諧蝕刻速率和選擇性。該工具還配備了綜合氣體輸送系統,可以精確控制氟基蝕刻劑和氧基灰化氣體等工藝氣體。氣體輸送裝置確保氣體在晶圓表面的一致和均勻分布,從而產生高工藝均勻性和重復性。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330通過先進的控制機器操作,允許實時監控和調整過程參數。該工具具有用戶友好的界面,使操作員能夠快速輕松地設置和優化流程配方。可以記錄和分析過程數據,以確保過程的穩定性和質量控制.綜上所述,AMAT 8330是一款尖端的蝕刻器/asher工具,可為半導體制造應用提供高性能、可靠性和多功能性。其先進的技術、精確的控制系統和穩健的設計使其成為實現高質量和高產半導體器件的必不可少的工具。
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