二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #293766202 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330蝕刻器是一種獨一無二的半導體蝕刻設備，設計用於半導體和先進材料開發領域的先進研究。這種高度先進的蝕刻系統可提供高吞吐量、靈活性和生產可擴展性,以滿足最具挑戰性的研發需求。AMAT 8330蝕刻器具有同時分級多個晶片和快速處理這些晶片的獨特能力。該工具還能夠支持一系列配方以優化蝕刻工藝條件。APPLIED MATERIALS 8330蝕刻器利用其先進的多晶片分級能力,一次同時處理多達四個晶片,處理周期每晶片不到1秒,而標準處理時間長達10分鐘。蝕刻器既有幹蝕刻部分，也有可選的濕蝕刻部分，兩者都能夠提供高通量、精確的蝕刻過程。此外,該工藝室還配備了一個用於快速晶圓傳輸的旁路插槽.8330蝕刻器的工藝室經過專門設計，以促進均勻性和優越的工藝控制。它利用直接驅動氣體擴散泵進行壓力控制，並選擇靜電和化學機械力來維持一致的壓力。重力相位和頻率控制單元還提供了對蝕刻過程中定時和壓力的精確控制。這臺先進的蝕刻機采用易於使用的Job Modeler設計,可精確控制蝕刻配方。Job Modeler允許用戶保存自定義配方並輕松回憶它們,從而消除了每次花費時間編寫和優化配方的需要。此外,Job Modeler還包括幾個自動化的流程管理和工作流工具,以幫助減少用戶操作員的錯誤。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330蝕刻器還采用了創新的真空工具,用於均勻的基板加工。該資產使用一系列集成的氣流傳感器和CFD模型來分析工藝室內的壓力分布，以提供適當的工藝均勻性。此外,基板管理模型允許用戶對類似的膠片或設備類型進行分組,並相應地調整參數。最後，AMAT 8330蝕刻器配備了廣泛的監控工具。這些工具允許用戶持續監控工藝室的壓力、氣流和溫度，從而確保晶圓處理參數在整個蝕刻過程中保持一致。這些監控工具對於發現蝕刻過程中的任何潛在錯誤以及確保設備晶片被正確蝕刻是非常寶貴的。