二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9076176 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS 8330 Etch/Asher是一款緊湊、經濟高效且高產的機器，設計用於半導體應用中的多層蝕刻和灰化。它是一個雙室系統，由一個蝕刻室和一個灰化室組成，允許用戶在一臺機器中進行蝕刻和灰化操作。AMAT 8330旨在最大限度地提高大批量生產的吞吐量,每小時可處理多達150個晶圓。蝕刻器/asher利用先進的、精確的射頻等離子體技術，將過程氣體電離，以產生體積的射頻等離子體，該等離子體均勻地分布在晶圓表面上。這種均勻、一致、可調的工藝氣體波形允許精確的蝕刻速率和出色的工藝均勻性。APPLICED MATERIALS 8330將蝕刻和灰化操作整合到一臺機器中,消除了單獨蝕刻和灰化設備的需要,並為大容量晶圓制造操作提供了單源解決方案。8330具有高級編程、過程監控和系統維護功能。其高級HMI（Human Machine Interface）允許用戶通過觸摸屏或鼠標/鍵盤輕松配置、監控和控制流程參數。此外,該機器還包括多種模式和功能,使用戶能夠對數百種配方進行編程、存儲和監控,以進行復雜的生產操作。高級流程監控功能提供了對流程條件的實時監控,允許精確的流程控制,並允許用戶輕松排除和調整參數以優化性能。Etch/Asher包含最多可容納八種工藝氣體的容量，並擁有350 mTorr的最大壓力能力。該系統配有主動夾緊式6英寸晶片負載鎖，有助於確保工藝的可重復性、基板對基板的均勻性和優異的收率。AMAT/APPLIED MATERIALS 8330專為多功能、大批量生產能力而設計，非常適合廣泛的工藝步驟，包括幹蝕刻、半導體器件制造、介電加工和晶片粘合。它是一款極具效率的機器，緊湊的設計占用極小的地板空間，維護要求低，界面人性化，使其成為許多生產操作的理想選擇。