二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9210300 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 9210300
晶圓大小: 6"
Metal etcher, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330是一款高精度的蝕刻器/asher。它可以在材料表面精確蝕刻圖案。蝕刻是一個減法過程,其中一層淺層材料被移除,留下一個所需的圖樣在底層。AMAT 8330使用等離子體蝕刻來去除其指定圖樣的材料。APPLIED MATERIALS 8330所使用的等離子體蝕刻技術可以處理多達6 「x6」或150 mm的基板,使其非常適合需要小零件精確蝕刻的應用。蝕刻器還可以一次處理多種底物,並可用於蝕刻矽、砷化​​氙(GaAs)和磷化銨(InP)等材料。蝕刻可以采用濕法或幹法進行,並具有各種形狀和大小。8330還具有進行濺射蝕刻、淺溝隔離(STI)、屏障側墻植入等先進工藝技術的能力。這些技術有助於確保被蝕刻的材料具有一致和統一的輪廓。此外,蝕刻器具有廣泛的蝕刻速率,從幾微米到許多毫秒。它還具有廣泛的加工氣體,包括氧氣、氫氣、氦氣、氮氣和二氧化碳,以及其他惰性氣體。該設備在工具可用性方面也非常高效。AMAT/APPLICED MATERIALS 8330設計用於在一次運行中處理多個配方,並且可以輕松修改以適應不斷變化的工藝要求。此外,它的自動化接口使系統更容易集成到生產環境中,而且廣泛的壓力、溫度、電壓和氣體流動水平使其能夠針對多種應用進行定制。最後,AMAT 8330還考慮了安全性,因為它有一個冗余的安全互鎖單元,可以防止蝕刻過程的任何意外激活。這臺機器包括一個可編程計時器、氣體和真空傳感器,以及一個可以在任何進程開始前鎖定的互鎖開關。這允許在機器使用時增加一層安全性。總之,APPLICED MATERIALS 8330 蝕刻/asher機是一種高精度的工具,用於將圖樣和形狀蝕刻到各種表面材料上。憑借其先進的工藝技術、多種工藝氣體選項和安全措施,該蝕刻器為廣泛的應用提供了絕佳的選擇。
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