二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330A / 8330 #9276839 待售

AMAT（應用材料）AMAT/APPLIED MATERIALS 8330A/8330是一種用於制造操作的蝕刻器/粉碎器。它是一種經濟高效的高通量設備,在蝕刻和灰化過程中提供卓越的性能。該系統設計用於同時處理多個應用程序，允許單個操作最多8個晶圓容量。該機配備了先進的真空裝置，能夠對所有蝕刻和灰化過程任務進行精確的溫度和過程控制。作為蝕刻機，AMAT 8330A/8330有兩個主腔室-一個用於金屬，另一個用於絕緣蝕刻。金屬蝕刻室利用反應性離子蝕刻（RIE）功能提供了優異的各向異性蝕刻效果。此外，由於內置自動溫度控制器，可以實現對腔室壓力、溫度、氣流和射頻功率的精確控制。絕緣蝕刻室由一個感應耦合等離子體（ICP）源組成，使得熱穩定基板能夠蝕刻。自動熱控制器對所有蝕刻操作提供精確的溫度和過程控制。此外，該工具還配備了高級級-1000晶片處理資產，提供快速晶片加載、卸載和操作以及節省時間的晶片對準。在灰化功能方面,APPLIED MATERIALS 8330A/8330型號具有單一腔室配置,可實現快速高效的灰化過程。該室配有石英船和內置的自動溫度控制器，對灰化過程提供精確的溫度控制。這有助於提高工藝的均勻性、可重復性和產量。設備還包括流程故障診斷程序,可快速診斷任何故障。總體而言,8330A/8330是一個功能強大的高通量蝕刻和灰化系統。該裝置具有先進的特點，可提供精確的溫度和過程控制，從而在所有蝕刻和灰化過程中獲得最佳效果。它是各行業先進的灰泥和蝕刻應用的理想解決方案。