二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8336 #9226747 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher是半導體和電子制造商使用的一種設備,用於從各種材料中創建所需形狀和尺寸的納米結構。這種設備能夠用金屬、聚合物、抗性材料和電介質生產結構。AMAT 8336 蝕刻器/Asher可以執行兩種主要形式的蝕刻技術，包括深反應性離子蝕刻（DRIE）和各向異性蝕刻。進行DRIE蝕刻的能力是MEMS（微機電系統）和微流體制造的關鍵，因為它在蝕刻過程中具有很高的選擇性。各向異性蝕刻通過控制蝕刻工藝參數的組合，如壓力、溫度和蝕刻氣體的使用，提供了可控的蝕刻速率。APPLICED MATERIALS 8336 Etcher/Asher由兩個主腔室組成；一個用於蝕刻的下部等離子體腔和一個用於容納晶片的上部負載鎖腔室。下腔采用法拉第屏蔽保護正在加工的晶片不受電弧和其他等離子體相關問題的影響，還采用陶瓷分離器，有助於保持高達5x10-5 Torr的工藝室真空。上腔最多可容納15個晶圓，並配有溫度控制的卡帶，用於精確的晶圓裝卸。8336 Etcher/Asher使用三步工藝進行蝕刻，其中晶片塗有光致抗蝕劑層，采用所需的設計圖案，然後使用深反應性離子蝕刻（DRIE）或各向同性蝕刻工藝進行蝕刻。過程中使用各種氣體，如氧氣、氟氣和氮氣，與射頻功率混合使用，可在0至300瓦之間調節。AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher還具有智能溫度控制系統,可監控和調整工藝室內的溫度,確保整個操作過程中均勻加熱。該系統還包括一個溫度過高的保護功能，可以設置為在溫度過高的情況下中止蝕刻過程。AMAT 8336 Etcher/Asher包括旨在提高結果準確性和質量的附加組件,例如用於在蝕刻過程中監視的查看窗口,以及保存以前的過程設置以實現可重復結果的功能。此外,APPLIED MATERIALS 8336 Etcher/Asher經認證可兼容多種安全標準,如ANSI/IEEE/UL-CSA-499、UL-60079和NFPA70。所有這些特性和安全註意事項相結合,使8336 Etcher/Asher成為蝕刻和灰化操作的可靠且高效的選擇。