二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 8336 #9250132 待售
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 蝕刻器/asher是一種多用途設備,專為各種蝕刻、清潔和灰化工藝而設計。該系統采用了最新的射頻等離子體技術,提供了最高水平的均勻性和可重復性,允許嚴格的過程控制和快速的循環時間。該單元由幾個組件組成,包括射頻發生器、Asher Head/Tower、Chamber/Process Vessel、Process Gases和Vacuum Equipment。AMAT 8336先進的射頻發電機為Asher Head提供工藝電源,從而有效地創建蝕刻和清潔過程所需的等離子體。腔室/容器容納晶片基板並保護Asher Head和Process Gases免受汙染。用戶控制的工藝氣體通過由Asher Head控制的噴嘴輸送,以覆蓋基板的適當區域。APPLICED MATERIALS 8336's Vacuum Equipment Encludes all components of the substate chamber and maintaining the vacuum environment, surp8336可以蝕刻和清潔多種材料,包括矽、多晶矽、玻璃、低k電介質、金屬、抗蝕劑、氧化物和氮化物,允許精密加工。其專有的Cross-Ladder Technology以極緊的蝕刻均勻性支持更高的吞吐量。此外,它還可以實現高達100:1的高長寬比蝕刻,非常適合更高級的工藝應用。該機器還提供了一系列過程監測功能,包括原位氣體分析儀、端點檢測和晶圓映射,使用戶能夠完全控制其蝕刻/灰化過程。此外,智能控制的工具有助於最大限度地降低人工成本並減少生產過程中的瓶頸。AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 蝕刻器/asher是一項可靠且用途廣泛的資產,能夠實現準確且可重復的蝕刻和清潔結果,並具有高通量性能。其卓越的過程控制、先進的技術和監控功能相結合,確保用戶在節省時間和金錢的同時獲得最高質量的結果。
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