二手 AMAT / APPLIED MATERIALS P5000 #9392286 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS P5000 Reactor是一種高性能儀器,旨在幫助用戶在微電子、數據存儲和光學行業中建立精確的金屬沈積參數。AMAT P-5000反應堆提供精確、均勻和可重復的沈積過程控制.它配備了一個集成的真空設備，允許卓越的溫度均勻性和層特性。應用材料P 5000反應器裝有交替偏置電壓沈積源.這會在連續的時鐘周期內在負電荷和正電荷之間交替沈積基板，這有助於在整個層中實現均勻的薄膜覆蓋和均勻的晶粒尺寸。此外，在沈積室中加入惰性氣體，以減少顆粒粘附，並通過協助顆粒均勻分布來實現更大的覆蓋一致性。P-5000反應堆的高級位置控制允許單個晶片或目標基板相對於源精確移動。這樣可以在晶片上均勻分布溫度，並有助於確保整個晶片上的高質量沈積。該系統采用質量流控制器和PID控制器設計，可實現自動沈積控制和精確溫度調節。應用材料P5000反應器的設計采用低熱預算選項，以最大程度地減少沈積過程中施加在晶片上的熱應力。這有助於減少翹曲和其他對晶片的損害。通過使用先進的控制單元，AMAT P5000反應堆有助於自動化和降低沈積過程的復雜性。P5000反應堆適用於多種沈積技術，包括化學氣相沈積（CVD）和物理氣相沈積（PVD）。它還配備了一個實時監測機器，可以分析整個沈積過程，跟蹤刀具性能和分析各層的工藝配方。這有助於用戶優化操作、減少停機時間並改善整個過程控制。總之，P 5000反應器是一種高性能儀器，具有精確的過程控制，產生均勻且可重復的沈積過程。其先進的控制系統有助於自動化和簡化沈積過程，而其低熱預算能力有助於減少放置在晶片上的熱應力。這有助於確保高質量的沈積以及提高工藝穩定性和優化。