二手 AMAT / APPLIED MATERIALS AME 8100 #9178965 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8100是一款Asher/Etcher，設計用於從基板表面可靠地、準確地去除材料。該設備在蝕刻過程中利用了多種蝕刻氣體如溴化氫、氯化氫和SF6。它集成了最先進的Endura硬件和軟件，用於關鍵溫度，壓力和氣體成分控制的蝕刻過程。該系統能夠在直徑達8英寸的晶片基板中處理多種材料，如矽、砷化氙和氧化矽。AMAT AME 8100提供對工藝參數的精確控制,以提供所需的蝕刻速率和均勻性。利用實時過程監測，設備保持可重復溫度控制，基板均勻暴露於蝕刻氣體中。它具有可控的擴散和遠程蝕刻配置,以確保設備幾何的完全覆蓋。除了工藝控制外，該機還提供柔性基板加載選項和創新的單面和雙面蝕刻板加載功能。APPLICED MATERIALS AME 8100提供卓越的工藝一致性,高通量,低粒子量.針對特殊蝕刻要求，該工具提供精確的掩模編碼能力和各種特殊蝕刻工藝氣體。該資產還集成了其他功能,如流程執行日誌記錄、流程可追蹤性以及用於優化蝕刻流程的自動配方管理。最後，AME 8100是一種用於加工各種材料的可靠、精確的蝕刻器。它具有先進的溫度、壓力和氣體成分控制、實時過程監測、專門的過程氣體，以及過程執行記錄和可追蹤性等附加功能。AMAT/APPLICED MATERIALS AME 8100具有卓越的工藝均勻性和較低的顆粒生成能力,一定能滿足您所有的蝕刻需求。